金融界2024年11月15日音问，国度常识产权局信息露馅，兴芯社（重庆）电子开辟有限公司获得一项名为“一种便于计帐蚀刻液的半导体蚀刻开辟”的专利，授权公告号CN 221999036 U，肯求日历为2024年3月。

专利摘录露馅，本实用新式提供一种便于计帐蚀刻液的半导体蚀刻开辟，属于蚀刻液回收技巧限度。包括蚀刻机主体、滤网、导流台以及回流管，蚀刻机主体的下方里面水祯祥装滤网，滤网确立在回流管的下方滤网的两侧上方区分设有激动板、断绝板，激动板与断绝板彼此间隔对称散布，激动板沿滤网的上名义朝向断绝板滑行，激动板的底部内嵌有伸缩板，伸缩板与激动板弹性贯穿。回流管与蚀刻机主体台面上的的蚀刻液出液口贯穿。该便于计帐蚀刻液的半导体蚀刻开辟，无需对滤网进行拆装即可进行清洁功课，而蚀刻液计帐后连接流动从排放腔中排出，合座功课畅达度高，关于蚀刻液的清洁成果好。

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